３次元計測　３次元測定　非接触　非破壊　３Ｄ　デジタルマイクロスコープ　レーザ　顕微鏡　レーザー顕微鏡　コンフォーカル　共焦点　SOLIDSCANNER　大阪光科学技術研究所



計測条件：　
■サンプル：半導体
■対物レンズ：20×、ズーム：1×、計測視野：350×350μｍ
■XY分解能：500×500pixel、Z計測分解能：1.30μｍ、Z測定幅：35.10μｍ




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